產品詳情
簡單介紹：
SDL 系列，大功率高速排氣，可滿足超過15萬L/min的需求。
詳情介紹：
SDL系列
KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。排氣組合式真空泵設備則在其他領域得到廣泛應用。
支持放大晶圓和FPD
通過組合可以實現(xiàn)大排量。 我們將回應超過150,000升/分鐘的要求。
更短的節(jié)拍時間
通過確保大氣側排氣速度，高速抽空大型負載鎖定室
1，充分應對晶片F(xiàn)PD的大口徑化通過組合
通過大型負載鎖定室的高速排氣，縮短節(jié)拍時間。
可實現(xiàn)大排氣量化?？蓾M足超過15萬L/min的要求。
2，由于高速排氣縮短節(jié)拍時間，通過確保大氣側排氣速度通過大型負載鎖定室的高速排氣，縮短節(jié)拍時間。
